三坐标测量机尺寸测量的示值误差

 　　zui大允许探测误差(MPEp)：由三坐标测量机的规范、规程等所允许的探测误差的极限值。三坐标测量机尺寸测量的zui大允许示值误差(MPEE)：由三坐标测量机的规范、规程等所允许的坐标测量机尺寸测量的示值误差E的极限值，是测量机本身的精度标志。

　　三坐标测量机尺寸测量的示值误差(E)：用坐标测量机从相反的两个方向接近探测点，测定尺寸实物标准器的两标称平行平面间的法向(与一个面正交的)两相对点距离的示值误差。三坐标由于零部件的机械加工、装调等因素，使仪器本身存在误差。通常将坐标测量机的几何参数误差按其在各运动自由度方向作用分类，分为3 项位置度、6项直线度、9项角摆误差、以及三轴相互之间的3项垂直度，共21项参数误差。对水平臂三坐标测量机则为24项误差，即加上水平臂伸出时的下垂量误差。21项误差是测量机的基本几何误差，各个三坐标生产厂家都严格测量控制这21项几何误差，利用双频激光干涉仪、高精度电感、水平仪等测量补偿测量机几何误差，保证满足测量机的示值误差和探测误差。

　　三坐标测量机本身误差包括两个部分：

　　第一部分是测座系统以上部分的综合误差MPEE可以通过测量三个轴向以及四个空间方向的量块组合来检验。这项误差是随着机器的使用寿命、使用状态而逐渐增大的，良好的测量机使用习惯以及设备的日常维护保养，还有设备的定期校验、补偿，可以有效的缩小该误差的变化，从而达到减少这项误差的目的。MPEE表达式为:E=a+L/b ;a 为一个常数，I为长度，b 为一个比例常数。E单位通常用Hm 表示。这样就要求只能测量公差为3E 的产品，即工件要求的公差为0.01mm，那么所使用的三坐标E值不能超过3/0.01mm.I值过大就不能保证测量结果的正确性。第二部分是测头测针组件带进的误差。

　　包括可旋转测座的旋转定位误差，加长杆和各种转接、关节带进的误差。以蔡司三坐标旋转测头为例，它的旋转定位误差在0.5μm左右，可以说这项精度是很高的，但是随着旋转次数的增加，这个值便会逐渐累积形成一个不可忽视的误差。由加长杆和各种转接、关节带进的误差值，每台三坐标测量机是不同的，但是有一个大体的范围，可以由试验获得。

　　按经验来说蔡司测针的碳纤维加长杆+TP200传感器+短测针的精度损失在0.6-0.8μm。要减少这一部分误差一是要定期对测针进行校验，条件允许的话，在每次测量一个工件之前先校验一下测量这个工件所要用到的各种测针;二是测量工件时选择尽可能短的测头测针组，这样可以有效减少测针组件带来的误差;三是购置三坐标测量机时根据日常测量工件的精度选择测量机测座测针类型，如精度要求较高的可以选用固定式测座系统