蔡司扫描电镜NanoVP让样品不再荷电画面更清晰

 　　可变压力扫描电子显微镜(VPSEM)自30多年前被引入商业领域以来，已经越来越备受关注。虽然蔡司扫描电镜Gemini技术(点击查看)已经可以使用极低电压表征不导电样品的表面形貌细节，从而避免荷电效应，但仍然有许多场景必须使用高电压表征不导电样品。

　　通常，镀金或镀碳膜是解决此类矛盾的首选，而有些样品，由于工艺进程等因素的制约，镀导电膜将影响后续实验;有些样品亦不可破坏或进行特殊制样;同时，导电镀膜亦会影响能谱分析的准确性。

　　于是，集齐三大电镜拍摄不利条件：

　　样品不导电，必须高电压，不允许镀膜。

　　此时，蔡司扫描电镜NanoVP解决方案呼之欲出! 让我们先来看一个实例：

　　样品1：橡胶块包裹纤维断面

　　▲ 使用标准VP模式获得11倍大视野照片(图1)。使用NanoVP模式，可以进一步高分辨观察纤维断面，逐步放大至5万倍清晰观察断面包裹的细微颗粒。全过程无荷电影响。两种VP模式互相配合，相得益彰。(图2，3，4)

　　当SEM在可变压力(Variable Pressure)模式下运行时 ，电子束包括激发的信号与气体分子碰撞，形成带电离子云，并随之中和样品表面累积的荷电，达到正常观察样品的目的。然而带来的不利影响是束流减少，并形成“Skirting Effect”裙边效应，分辨率也因此降低。

　　而蔡司扫描电镜NanoVP模式则大大减少了裙边效应。因为NanoVP模式配备了Beam Sleeve，使电子束在低真空区域通过的距离(BGPL)变得极短，带来的优点就是提高了低真空模式下的分辨率。

　　让我们来看更多案例：

　　样品2：玻璃基底光刻胶图形(光栅)

　　蔡司扫描电镜更可提供4英寸、6英寸不导电晶圆整体解决方案。搭配200mm Airlock 与专用晶圆样品Holder，轻松传输6英寸Wafer晶圆。

　　样品3：玻璃基底光刻胶图形(圆孔)

　　▲ 使用NanoVP模式，150Pa低真空环境下，轻松观察不导电基底光刻胶圆孔图形中的残胶缺陷。

　　样品4：鸟类羽毛化石

　　▲ 使用NanoVP模式，使用低真空背散射探测器清晰分辨羽毛化石中的色素分布

　　今年开始，蔡司将NanoVP这一经典配置覆盖到了场发射扫描电镜全系列，让您在选择机型的时候不再有后顾之忧。

　　▲ GeminiSEM系列NanoVP

　　▲ Sigma系列NanoVP Lite

　　蔡司扫描电镜NanoVP让样品不再荷电让画面清晰可见让操作更为简便