蔡司场发射扫描电镜强大的功能及广泛适用性

 　　“There’s plenty of room at the bottom.” 理论物理学家Richard Feynman在1959年的一番演讲为人类打开了纳米世界的大门，而电子显微技术真正将微纳世界呈现在人类面前。扫描电子显微镜作为最常见的电子显微仪器之一，不仅在微观形貌表征方面大放异彩 ，也在各种元素表征、晶相分析、原位测试等领域有着诸多应用，已经成为微区分析的重要手段。

　　一、高分辨能力

　　蔡司热场发射扫描电子显微镜(ZEISS, Sigma 500)采用肖特基型热场发射电子枪及GEMINI光学系统设计，电子束能量均匀稳定，在保证成像分辨能力同时还能产出足够强的信号用于呈现较高的成像质量，目前广泛应用于材料科学、地球科学和生命科学等领域。

　　其关键性能指标如下：

　　加速电压：20V~30kV;

　　电子束束流：5 pA~20nA;

　　极限分辨率：0.8 nm@15kV 1.6 nm @1kV;

　　放大倍数：10~106×。

　　二、广泛的适用性

　　蔡司场发射扫描电子显微镜要求待测样品为干燥的固体，且无挥发性物质，对样品的包容性较强。对于大多数干燥且导电的固体样品无需特殊制备过程，只要根据样品大小、形状和观察需求，用适当方法固定在相应样品台上即可。为应对不同的表征需要，本实验室配置的样品台包括12.5mm钉形台、25mm钉形台、12.5mm全碳钉形台、带夹片钉形台、可夹持样品台、90°/45°样品台、90°带夹片样品台、EBSD专用样品台。

　　此外，实验室还可配置如下制样设备，可用于样品的前处理：

　　1. 离子溅射仪(Bright KAS-2000F)：配有铂靶材，用于在样品表面溅射镀导电层，增加样品导电性。

　　2. 临界点干燥仪(Quorum K850)：用于生物组织样品梯度脱水后，用液态二氧化碳置换样品中的丙酮，并实现无张力的干燥过程。

　　三、强大的功能扩展性

　　蔡司扫描电镜Sigma系列的大腔体设计可以容纳更大的样品，并为表征实验提供更多的扩展空间。除用于成像的E-T二次电子探头和Inlens二次电子探头外，仪器还配有背散射电子探头(BSE)、牛津仪器X-Max能谱探头(EDS)、牛津仪器Nordlys电子背散射衍射探头(EBSD)、透射电子探头(STEM)、Gatan C1003冷热台等附件，可用于元素表征、晶相分析、透射成像、原位变温实验等多种实验场景。

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