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与以前的光学显微镜相比,激光共聚焦显微镜可以将水平分辨率提高40%以上,其优势可以达到120 nm。激光共聚焦显微镜具有高度适应性,并且是非接触式检测。为了改善场景的深度,必须在高度方向上进行扫描以获得一系列切片,然后重叠以获得三维图像。
高级成像与表面形貌分析用多功能共聚焦显微镜
蔡司LSM 900激光扫描共聚焦显微镜(CLSM)是一台用于材料分析的仪器,可在实验室或多用户设施中表征三维微观结构和表面形貌。LSM 900可对纳米材料、金属、聚合物和半导体进行精确的三维成像和分析。将蔡司Axio Imager.Z2m正置式全自动光学显微镜或蔡司Axio Observer 7倒置式显微镜装上LSM 900共聚焦扫描头,同时具有所有的光学显微镜观察模式,以及高精度的共聚焦表面三维成像模式,您可轻松将所有功能集于一身。这些功能的使用无需切换显微镜,您将可以进行原位观察,节省大量的时间。自动化也会给您的数据采集和后期处理带来诸多便利。另外,LSM 900具有非接触式共聚焦成像的优势,例如表面粗糙度的评估。
一、应用广泛
便携式光学表面三维形状在线检测仪是一种基于光学干涉仪设计的超光滑表面三维形状检测仪,解决了现场超高精度加工零件的高精度在线快速批量检测问题。
例如机械,微电子学和光学。超大型集成电路晶片,LED蓝宝石基板和其他组件的生产测试可应用于芯片,LED,微机械,微光学,航空光学陀螺仪,强激光和天文望远镜的生产和研究领域。
二、低噪音
激光共聚焦显微镜不仅可以改善有效信号,而且可以大大降低噪声信号并获得高质量的荧光图像。基于共焦原理的小测量精度对正确读取反射光的峰值的能力有很大影响。
共焦光学系统有许多结构方法。在几种形状测量激光显微镜系统中使用的“针孔共聚焦模式”。针孔共聚焦法在光接收元件之前设计一个针孔。
针孔的直径只有几十微米,当反射光失去聚焦时,其作用是阻挡反射光。通常,光学系统和激光共焦光学系统的反射光进入光接收元件。在“非聚合”的情况下,光学系统的反射光(聚焦模糊光)通常进入光接收元件。
并且激光共聚焦光学系统的反射光(聚焦模糊光)通过针孔被切断。也就是说,只有在聚焦之后,反射光才能进入光接收元件,这是形成共焦光学系统的基础。
三、测量3D轮廓的地形图像分辨率高
激光共聚焦显微镜的机械运动更少,特别是在光谱成像中,机械运动更稳定,可确保更快,间歇和令人信服的结果。通过将多个检测器集成在一起,可以可靠地重现用户的测量结果。并行光谱检测允许在波长模式下同时读取更多信号。另外,还有一种特殊的采集方法,可以大大提高光谱分辨率。
四、结果可比较
激光共聚焦显微镜可以显示清晰的细节和高对比度的图像,而不管表面形态和结构分析或表面轮廓如何。提高灵敏度和减少背景噪声是激光共聚焦显微镜高端应用的先决条件。激光共聚焦显微镜具有出色的灵敏度,良好的降噪技术和激发激光技术,可确保良好的输出功率。
五、高精度
激光共聚焦显微镜不需要样品制备和电导率处理,并且样品没有损坏(可以检测粉末,软样品和透明样品)。激光共聚焦显微镜具有丰富的测量结果,高分辨率的2D和3D摄影。
各种2D和3D显示结果的比较,大面积图像样条曲线,非接触粗糙度测量,膜厚度测量,荧光分析等。操作和维护都很简单。激光共聚焦显微镜不需要昂贵的材料,模块设计,用户友好的操作软件以及自动校正程序。