蔡司双束电镜Crossbeam系列的先进技术（一）

 　　蔡司双束电镜Crossbeam系列的先进技术之扫描电镜电子光学器件

　　两种镜筒可供选择

　　和所有的蔡司场发射扫描电镜一样，蔡司双束电镜Crossbeam系列的场发射扫描电镜镜筒基于Gemini电子光学系统。目前两款镜筒：配置Crossbeam 350的Gemini I VP镜筒和配置Crossbeam 550的Gemini II镜筒可供您选择。

　　场发射扫描电镜专为高分辨率成像而设计，其性能取决于它的电子光学镜筒。Gemini技术支持所有的蔡司场发射扫描电镜和双束电镜：特别为各种样品，尤其是低电压下提供高分辨和高效且操作简单的探测。

　　Gemini电子光学系统主要有三个特征

　　Gemini物镜是静电透镜和电磁透镜复合的电子光学结构，可大大提升镜筒的使用效果，面对富有挑战性的磁性样品同样有出色的成像效果。

　　Gemini镜筒配置的电子束加减速技术，可保证电子束斑尺寸和高信噪比。

　　Gemini镜筒内设置的探测器，可确保信号的高效收集，可同时收集二次电子(SE)和背散射电子(BSE)信号。

　　从您的双束电镜应用获益

　　扫描电镜电子束对准可长期保持稳定，改变探针电流和加速电压对系统几乎没有影响。

　　无磁场泄露的光学系统可实现大视野无畸变高分辨成像。

　　样品倾斜转动时不影响电子光学系统的表现。

　　蔡司双束电镜Crossbeam 350：Gemini镜筒配备单聚光镜、两个Inlens探测器，具有可变气压功能。

　　蔡司双束电镜Crossbeam 550：Gemini II 镜筒配有双聚光镜和两个Inlens探测器。

　　带Gemini I VP的蔡司Crossbeam 350

　　更广的样品和环境适用性

　　放气或者荷电样品原位实验的可行性

　　利用Inlens EsB探测器实现独特的材料成分衬度

　　带Gemini II的蔡司Crossbeam 550

　　基于双聚光镜系统，在低电压大束流下依然可以获得高分辨图像

　　通过高分辨成像及快速分析技术可在短时间内获得更多信息

　　使用Inlens SE和EsB探测器实现形貌及成分衬度同时成像