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解析全球机器人的发展现状-3分钟读懂机器人

2015-08-27 09:28:24 点击: 来自:企划编辑

几千年前人类就渴望制造 一种像人一样的机器,以便将人类从繁重的劳动中解脱出来。 如古希腊诗人Homeros的长篇叙事诗 《伊利亚特》中的冶炼之神 瘸腿海倍斯特司 ,就用黄金铸造出一个美丽聪颖的侍女;希腊神话《阿鲁哥探险船》中的青铜巨人泰洛斯(Taloas);犹太传说中的泥土巨人等等,这些美 丽的神话时刻激励着人们一定要把美丽的神话变为现实,早在两千年前就开始出现了自动木人和一些简单的机械偶人。(文/蔡司三坐标 授权经销商昆山友硕)


一、机器人的分类
在近代 ,机器人一词的出现和世界上一台工业机器人问世之后,不同功能的机器人也相继出现并且活跃在不同的域,从天上到地下,从工业拓广到 农 业、林、牧、渔,甚至进入寻常百姓家。机器人的种类之多,应用之广,影响之深,是我们始料未及的。从机器人的用途来分,可以分为两大类:
军用机器人:
◆ 地面军用机器人
地面机器人主要是指智能或遥控的轮式和履带式车辆.地面军用机器人又可分为自主车辆和半自主车辆。自主车辆依靠自身的智能自主导航,躲避障碍物,独立完成各种战斗任务;半自主车辆可在人的监视下自主行使,在遇到困难时操作人员可以进行遥控干预。
◆无人机
被称为空中机器人的无人机是军用机器人中发展快的家族,从1913年一台自动驾驶仪问世以来,无人机的基本类型已达到300多种,目前在世界市场 上销售的无人机有40多种。美国几乎参加了世界上所有重要的战争。由于它的科学技术先进,国力较强,因而80多年来,世界无人机的发展基本上是以美国为主 线向前推进的。美国是研究无人机早的国家之一,今天无论从技术水平还是无人机的种类和数量来看,美国均居世界位。
综观无人机发展的历史,可以说现代战争是无人机发展的动力,高新技术的发展是它不断进步的基础。
◆水下机器人
水下机器人分为有人机器人和无人机器人两大类:
有人潜水器机动灵活,便于处理复杂的问题,担任的生命可能会有危险,而且价格昂贵。
无人潜水器就是人们所说的水下机器人,“科夫”就是其中的一种。它适于长时间、大范围的考察任务,近20年来,水下机器人有了很大的发展,它们既可军 用又可民用。随着人对海洋进一步地开发,21世纪它们必将会有更广泛的应用。按照无人潜水器与水面支持设备(母船或平台)间联系方式的不同,水下机器人可 以分为两大类:一种是有缆水下机器人,习惯上把它称做遥控潜水器,简称ROV;另一种是无缆水下机器人,潜水器习惯上把它称做自治潜水器,简称AUV。有 缆机器人都是遥控式的,按其运动方式分为拖曳式、(海底)移动式和浮游(自航)式三种。无缆水下机器人只能是自治式的,目前还只有观测型浮游式一种运动方 式,但它的前景是光明的。
◆空间机器人
空间机器人是一种低价位的轻型遥控机器人,可在行星的大气环境中导航及飞行。为此,它克服许多困难,例如它要能在一个不断变化的三维环境中运动并 自主导航;几乎不能够停留;能实时确定它在空间的位置及状态;要能对它的垂直运动进行控制;要为它的星际飞行预测及规划路径。
民用机器人:
◆工业机器人
工业机器人是指在工业中应用的一种能进行自动控制的、可重复编程的、多功能的、多自由度的、多用途的操作机,能搬运材料、工件或操持工具,用以完成各种作业。且这种操作机可以固定在一个地方,也可以在往复运动的小车上。
◆服务机器人
服务机器人是机器人家族中的一个年轻成员,到目前为止尚没有一个严格的定义,不同国家对服务机器人的认识也有一定差异。服务机器人的应用范围很广,主 要从事维护、保养、修理、运输、清洗、保安、救援、监护等工作。德国生产技术与自动化研究所所长施拉夫特博士给服务机器人下了这样一个定义:服务机器人是 一种可自由编程的移动装置,它至少应有三个运动轴,可以部分地或全自动地完成服务工作。这里的服务工作指的不是为工业生产物品而从事的服务活动,而是指为 人和单位完成的服务工作。
◆娱乐机器人
娱乐机器人以供人观赏、娱乐为目的,具有机器人的外部特征,可以像人,像某种动物,像童话或科幻小说中的人物等。同时具有机器人的功能,可以行走或完成动作,可以有语言能力,会唱歌,有一定的感知能力。
◆类人机器人
从其他类别的机器人可以看出,大多数的机器人并不像人,有的甚至没有一点人的模样,这一点使很多机器人爱好者大失所望。也许你会问,为什么科学家不研 制类人机器人?这样的机器人会更容易让人接受。其实,研制出外观和功能与人一样的机器人是科学家们梦寐以求的愿望,也是他们不懈追求的目标。然而,研制出 性能异的类人机器人,其大的难关就是双足直立行走。因为 机器人与人的学习方式不一样。一个婴儿要先学走,再学跑;而机器人则要先学跑,再学走。也就 是说机器人学跑更容易些。
◆农业机器人
由于机械化、自动化程度比较落后,“面朝黄土背朝天,一年四季不得闲”成了我国农民的象征。但近年农业机器人的问世,有望改变传统的劳动方式。在农业机器人的方面,目前日本居于世界各国之。

二、各国机器人的发展情况
美国
美国是机器人的诞生地,早在1962年就研制出世界上一台工业机器人,比起号称"机器人王国"的日本起步至少要早五六年。经过30多年的发展,美国现已成为世界上的机器人强国之一,基础雄厚,技术先进。综观它的发展史,道路是曲折的,不平坦的。
由于美国政府从60年代到70年代中的十几年期间,并没有把工业机器人列入重点发展项目,只是在几所大学和少数公司开展了一些研究工作。对于企业来 说,在只看到眼前利益,政府又无财政支持的情况下,宁愿错过良机,固守在使用刚性自动化装置上,也不愿冒着风险,去应用或制造机器人。加上,当时美国失业 率高达6.65%,政府担心发展机器人会造成更多人失业,因此不予投资,也不组织研制机器人,这不能不说是美国政府的战略决策错误。70年代后期,美国政 府和企业界虽有所重视,但在技术路线上仍把重点放在研究机器人软件及军事、宇宙、海洋、核工程等特殊域的高级机器人的开发上,致使日本的工业机器人后来 居上,并在工业生产的应用上及机器人制造业上很快超过了美国,产品在国际市场上形成了较强的竞争力。
进入80年代之后,美国才感到形势紧迫,政府和企业界才对机器人重视起来,政策上也有所体现,一方面鼓励工业界发展和应用机器人,另一方面制订计划、提高投资,增加机器人的研究经费,把机器人看成美国再次工业化的特征,使美国的机器人迅速发展。
80年代中后期,随着各大厂家应用机器人的技术日臻成熟,一代机器人的技术性能越来越满足不了实际需要,美国开始生产带有视觉、力觉的第二代机器人,并很快占了美国60%的机器人市场。
尽管美国在机器人发展史上走过一条重视理论研究,忽视应用开发研究的曲折道路,但是美国的机器人技术在国际上仍一直处于地位。其技术、先进,适应性也很强。具体表现在:
(1)性能可靠,功能,准确度高;
(2)机器人语言研究发展较快,语言类型多、应用广,水平高居世界之;
(3)智能技术发展快,其视觉、触觉等人工智能技术已在航天、汽车工业中广泛应用;
(4)高智能、高难度的军用机器人、太空机器人等发展迅速,主要用于扫雷、布雷、侦察、站岗及太空探测方面。
英国
早在1966年,美国Unimation公司的尤尼曼特机器人和AMF公司的沃莎特兰机器人就已经率先进入英国市场。1967年英国的两家大机械公司 还特地为美国这两家机器人公司在英国推销机器人。接着,英国 Hall Automation公司研制出自己的机器人RAMP。70年代初期,由于英国政 府科学研究委员会颁布了否定人工智能和机器人的Lighthall报告,对工业机器人实行了限制发展的严厉措施,因而机器人工业一蹶不振,在西欧差不多居 于末位。
但是,国际上机器人蓬勃发展的形势很快使英政府意识到:机器人技术的落后,导致其商品在国际市场上的竞争力大为下降。于是,从70年代末开始,英国政 府转而采取支持态度,推行并实施了一系列支持机器人发展的政策和措施,如广泛宣传使用机器人的重要性、在财政上给购买机器人企业以补贴、积促进机器人研 究单位与企业联合等,使英国机器人开始了在生产域广泛应用及大力研制的兴盛时期。
法国
法国不仅在机器人拥有量上居于世界前列,而且在机器人应用水平和应用范围上处于世界先进水平。这主要归功于法国政府一开始就比较重视机器人技术,特别是把重点放在开展机器人的应用研究上。
法国机器人的发展比较顺利,主要原因是通过政府大力支持的研究计划,建立起一个完整的科学技术体系。即由政府组织一些机器人基础技术方面的研究项目,而由工业界支持开展应用和开发方面的工作,两者相辅相成,使机器人在法国企业界很快发展和普及.
德国
德国工业机器人的总数占世界第三位,仅次于日本和美国。这里所说的德国,主要指的是原联邦德国。它比英国和瑞典引进机器人大约晚了五六年。其所以如 此,是因为德国的机器人工业一起步,就遇到了国内经济不景气。但是德国的社会环境却是有利于机器人工业发展的。因为战争,导致劳动力短缺,以及国民技术水 平高,都是实现使用机器人的有利条件。到了70年代中后期,政府采用行政手段为机器人的推广开辟道路;在"改善劳动条件计划"中规定,对于一些有危险、有 毒、有害的工作岗位,以机器人来代替普通人的劳动。这个计划为机器人的应用开拓了广泛的市场,并推动了工业机器人技术的发展。日尔曼民族是一个重实际 的民族,他们始终坚持技术应用和社会需求相结合的原则。除了像大多数国家一样,将机器人主要应用在汽车工业之外,突出的一点是德国在纺织工业中用现代化生 产技术改造原有企业,报废了旧机器,购买了现代化自动设备、电子计算机和机器人,使纺织工业成本下降、质量提高,产品的花色品种更加适销对路。到1984 年终于使这一被喻为"快完蛋的行业"重新振兴起来。与此同时,德国看到了机器人等先进自动化技术对工业生产的作用,提出了1985年以后要向高级的、带感 觉的智能型机器人转移的目标。经过近十年的努力,其智能机器人的研究和应用方面在世界上处于公认的地位。
俄罗斯
在前苏联(主要是在俄罗斯),从理论和实践上探讨机器人技术是从50年代后半期开始的。到了50年代后期开始了机器人样机的研究工作。1968年成功 地试制出一台深水作业机器人。1971年研制出工厂用的万能机器人。早在前苏联第九个五年计划(1970年一1975年)开始时,就把发展机器人列入国家 科学技术发展纲之中。到1975年,已研制出30个型号的120台机器人,经过20年的努力,前苏联的机器人在数量、质量水乎上均处于世界前列地位。国 家有目的地把提高科学技术进步当作推动社会生产发展的手段,来安排机器人的研究制造;有关机器人的研究生产、应用、推广和提高工作,都由政府安排,有计 划、按步骤地进行。
中国
有人认为,应用机器人只是为了节省劳动力,而我国劳动力资源丰富,发展机器人不一定符合我国国情。这是一种误解。在我国,社会主义制度的越性决定了 机器人能够充分发挥其长处。它不仅能为我国的经济建设带来高度的生产力和巨大的经济效益,而且将为我国的宇宙开发、海洋开发、核能利用等新兴域的发展做 出的贡献。
我国已在“七五”计划中把机器人列人国家重点科研规划内容,拨巨款在沈阳建立了全国一个机器人研究示范工程,展开了机器人基础理论与基础元器件 研究。十几年来,相继研制出示教再现型的搬运、点焊、弧焊、喷漆、装配等门类齐全的工业机器人及水下作业、军用和特种机器人。目前,示教再现型机器人技术 已基本成熟,并在工厂中推广应用我国自行生产的机器人喷漆流水线在长春一汽车厂及东风汽车厂投入运行。1986年3月开始的国家863高科技发展规划已 列入研究、开发智能机器人的内容。就目前来看,我们应从生产和应用的角度出发,结合我国国情,加快生产结构简单、成本低廉的实用型机器人和某些特种机器 人。
日本
日本在60年代末正处于经济高度发展时期,年增长率达11%。第二次世界大战后,日本的劳动力本来就紧张,而高速度的经济发展更加剧了劳动力严重不足 的困难。为此,日本在1967年由川崎重工业公司从美国Unimation公司引进机器人及其技术,建立起生产车间,并于1968年试制出一台川崎的 “尤尼曼特”机器人。
正是由于日本当时劳动力显著不足,机器人在企业里受到了“救世主”般的欢迎。日本政府一方面在经济上采取了积的扶植政策,鼓励发展和推广应用机器 人,从而更进一步激发了企业家从事机器人产业的积性。尤其是政府对中、小企业的一系列经济惠政策,如由政府银行提供惠的低息资金,鼓励集资成立“机 器人长期租赁公司”,公司出资购入机器人后长期租给用户,使用者每月只需付较低廉的租金,大大减轻了企业购入机器人所需的资金负担;政府把由计算机控制的 示教再现型机器人作为特别折扣待产品,企业除享受新设备通常的40%折扣待外,还可再享受 13%的价格补贴。另一方面,国家出资对小企业进行应用机 器人的专门知识和技术指导等等。
这一系列扶植政策,使日本机器人产业迅速发展起来,经过短短的十几年,到80年代中期,已一跃而为“机器人王国”,其机器人的产量和安装的台数在国际 上跃居位。按照日本产业机器人工业会常务理事米本完二的说法:“日本机器人的发展经过了60年代的摇篮期,70年代的实用期,到80年代进人普及提高 期。”并正式把1980年定为“产业机器人的普及元年”,开始在各个域内广泛推广使用机器人。
日本政府和企业充分信任机器人,大胆使用机器人。机器人也没有辜负人们的期望,它在解决劳动力不足、提高生产率、改进产品质量和降低生产成本方面,发挥着越来越显著的作用,成为日本保持经济增长速度和产品竞争能力的一支不可缺少的队伍。
日本在汽车、电子行业大量使用机器人生产,使日本汽车及电子产品产量猛增,质量日益提高,而制造成本则大为降低。从而使日本生产的汽车能够以价廉的 对势进军号称“汽车王国”的美国市场,并且向机器人诞生国出口日本产的实用型机器人。此时,日本价廉物美的家用电器产品也充斥了美国市场……这使“山姆 大叔”后悔不已。日本由于制造、使用机器人,增大了国力,获得了巨大的好处,迫使美、英、法等许多国家不得不采取措施,奋起直追。
工业机器人技术
工业机器人由操作机(机械本体)、控制器、伺服驱动系统和检测传感装置构成,是一种仿人操作、自动控制、可重复编程、能在三维空间完成各种作业的机电 一体化自动化生产设备。特别适合于多品种、变批量的柔性生产。它对稳定、提高产品质量,提高生产效率,改善劳动条件和产品的快速更新换代起着十分重要的作 用。
机器人技术是综合了计算机、控制论、机构学、信息和传感技术、人工智能、仿生学等多学科而形成的高新技术,是当代研究十分活跃,应用日益广泛的域。机器人应用情况,是一个国家工业自动化水平的重要标志。
机器人并不是在简单意义上代替人工的劳动,而是综合了人的特长和机器特长的一种拟人的电子机械装置,既有人对环境状态的快速反应和分析判断能力,又有 机器可长时间持续工作、准确度高、抗恶劣环境的能力,从某种意义上说它也是机器的进化过程产物,它是工业以及非产业界的重要生产和服务性设备,也是先进制 造技术域不可缺少的自动化设备。
三、机器人的现状及发展
国外机器人域发展近几年有如下几个趋势:
1.工业机器人性能不断提高(高速度、高精度、高可靠性、便于操作和维修),而单机价格不断下降,平均单机价格从91年的10.3万美元降至97年的6.5万美元。
2.机械结构向模块化、可重构化发展。例如关节模块中的伺服电机、减速机、检测系统三位一体化;由关节模块、连杆模块用重组方式构造机器人整机;国外已有模块化装配机器人产品问市。
3.工业机器人控制系统向基于PC机的开放型控制器方向发展,便于标准化、网络化;器件集成度提高,控制柜日见小巧,且采用模块化结构;大大提高了系统的可靠性、易操作性和可维修性。
4.机器人中的传感器作用日益重要,除采用传统的位置、速度、加速度等传感器外,装配、焊接机器人还应用了视觉、力觉等传感器,而遥控机器人则采用视 觉、声觉、力觉、触觉等多传感器的融合技术来进行环境建模及决策控制;多传感器融合配置技术在产品化系统中已有成熟应用。
5.虚拟现实技术在机器人中的作用已从仿真、预演发展到用于过程控制,如使遥控机器人操作者产生置身于远作业环境中的感觉来操纵机器人。
6.当代遥控机器人系统的发展特点不是追求全自治系统,而是致力于操作者与机器人的人机交互控制,即遥控加局部自主系统构成完整的监控遥控操作系统,使智能机器人走出实验室进入实用化阶段。美国发射到火星上的“索杰纳”机器人就是这种系统成功应用的著名实例。
7.机器人化机械开始兴起。从94年美国开发出“虚拟轴机床”以来,这种新型装置已成为国际研究的热点之一,纷纷探索开拓其实际应用的域。
我国的工业机器人从80年代“七五”科技攻关开始起步,在国家的支持下,通过“七五”、“八五”科技攻关,目前已基本掌握了机器人操作机的设计制造技 术、控制系统硬件和软件设计技术、运动学和轨迹规划技术,生产了部分机器人关键元器件,开发出喷漆、弧焊、点焊、装配、搬运等机器人;其中有130多台套 喷漆机器人在二十余家企业的近30条自动喷漆生产线(站)上获得规模应用,弧焊机器人已应用在汽车制造厂的焊装线上。但总的来看,我国的工业机器人技术及 其工程应用的水平和国外比还有一定的距离,如:可靠性低于国外产品;机器人应用工程起步较晚,应用域窄,生产线系统技术与国外比有差距;在应用规模上, 我国已安装的国产工业机器人约200台,约占全球已安装台数的万分之四。以上原因主要是没有形成机器人产业,当前我国的机器人生产都是应用户的要求,“一 客户,一次重新设计”,品种规格多、批量小、零部件通用化程度低、供货周期长、成本也不低,而且质量、可靠性不稳定。因此迫切需要解决产业化前期的关键技 术,对产品进行规划,搞好系列化、通用化、模化设计,积推进产业化进程。
我国的智能机器人和特种机器人在“863”计划的支持下,也取得了不少成果。其中为突出的是水下机器人,6000米水下无缆机器人的成果居世界 水平,还开发出直接遥控机器人、双臂协调控制机器人、爬壁机器人、管道机器人等机种;在机器人视觉、力觉、触觉、声觉等基础技术的开发应用上开展了不少工 作,有了一定的发展基础。但是在多传感器信息融合控制技术、遥控加局部自主系统遥控机器人、智能装配机器人、机器人化机械等的开发应用方面则刚刚起步,与 国外先进水平差距较大,需要在原有成绩的基础上,有重点地系统攻关,才能形成系统配套可供实用的技术和产品,以期在“十五”后期立于世界先进行列之中。

四、我国机器人发展的目标及主要技术研究域
1.目标
根据国内外机器人发展的经验、现状及近几年的动态,结合当前国内经济发展的具体情况,“十五”期间机器人技术应重点开展智能机器人、机器人化机械及其 相关技术的开发及应用;开展以机器人为基础的重组装配系统及其相关技术的开发研究及加强多传感器融合及决策、控制一体化技术及应用的研究。重点解决我国已 研制应用多年的示教再现型工业机器人的产业化前期关键技术,大力推进其产业化进程,力争在“十五”末期实现喷涂、焊接、装配等机器人的产业化。
2.主要研究内容
(1)示教再现型工业机器人产业化技术研究
①关节式、侧喷式、喷式、龙门式喷涂机器人产品标准化、通用化、模块化、系列化设计。
②柔性仿形喷涂机器人开发:柔性仿形复合机构开发,仿形伺服轴轨迹规划研究,控制系统开发,整机安全防爆、防护技术开发,高速喷杯喷涂工艺研究。
③焊接机器人(把弧焊与点焊机器人作为负载不同的一个系列机器人,可兼作弧焊、点焊、搬运、装配、切割作业)产品的标准化、通用化、模块化、系列化设计。
④弧焊机器人用激光视觉焊缝跟踪装置的开发:激光发射器的选用,CCD成象系统,视觉图象处理技术,视觉跟踪与机器人协调控制。
⑤焊接机器人的离线示教编程及工作站系统动态仿真。
⑥电子行业用装配机器人产品标准化、通用化、模块化、系列化设计。
⑦批量生产机器人所需的专用制造、装配、测试设备和工具的研究开发。
(2)智能机器人开发研究
①遥控加局部自主系统构成和控制策略研究
包括建模-遥控机器人模型,人行为模型,人控制动态建模,图形仿真建模,虚拟工具和虚拟传感器建模;以人为主体的人机共享规划与控制;局部自治控制; 多传感融合技术;双向力反应控制;知识库的建立,学习与推理方法;人机交互的高级控制技术;虚拟现实(VR)控制与真实世界控制的相互关系;监控系统的结 构。
②智能移动机器人的导航和定位技术研究
包括导航和定位系统的系统结构;在结构环境或非结构环境中导航和定位方法研究;感知系统的传感器和信息处理系统的构成;根据传感器数据建立环境模型的方法;模糊逻辑的推理方法用于移动机器人导航的研究。
③面向遥控机器人的虚拟现实系统
包括人机交互图形生成及其程序设计;遥控机器人(载体和机械手)几何动态图形建模;遥控操作环境图形建模;遥控机器人操作与数据的获取;虚拟传感器及 基于虚拟传感器的双向力反应、反馈控制;面向任务的虚拟工具;基于虚拟现实的遥控操作的理论与方法;基于VR模型操作和真实世界操作的可切换、相容性和可 交换性;VR监控系统。
④人机交互环境建模系统
包括CAD建模中的人机交互技术;求知模型工件的反示过程中的交互技术;机器人与环境的布局及功能验证中的交互技术;传感器数据处理中的交互技术;机器人标定、运动学建模、动力学建模中的交互技术。
⑤基于计算机屏幕的多机器人遥控技术
包括三维立体视觉建模;模型的计算机显示;遥控机器人模型的控制;人机接口;网络通讯。
(3)机器人化机械研究开发
①并联机构机床(VMT)与机器人化加工中心(RMC)开发研究
包括VMT与RMC智能化结构实现技术;VMT与RMC关键传动实现技术;VMT与RMC加工、装配、摆放、涂胶、检测作业技术;VMT与RMC监控 检测技术开发;VMT与MRC智能化开式CMC控制系统开发;系统软件和应用软件开发;智能化机构、材料机电一体化技术;作业状态变量智能化传感技术;机 电一体化的多功能及灵巧作业终;通用智能化开式CNC控制硬软件系统;并联机构运动学及动力学理论;RMC智能控制理论;VMT与RMC典型应用工程开 发。
②机器人化无人值守和具有自适应能力的多机遥控操作的大型散料输送设备
包括散料输送系统监控和遥控操作的传感器融合和配置技术;采用智能传感器的现场总线技术;机器人运动规划在等量堆取料、自主操作中的应用;基于广域网的远程实时通讯;具有监测和管理功能的故障诊断系统。
(4)以机器人为基础的重组装配系统
①开放式模块化装配机器人
包括通用要素的提取;专用件标准化;装配机器人模块CAD设计;通用主流计算机构造的控制器;人机界面方式;网络功能。
②面向机器人装配的设计技术
包括数字化装配与CAD集成技术;产品机器人化装配规划生成技术;产品可装配性模糊评价。
③机器人柔性装配系统设计技术
其中单元技术:供料系统智能化设计、末执行器快速执行、物流传输及其控制与通讯;集成技术:柔性装配线仿真软件、管理系统。
④可重构机器人柔性装配系统设计技术
开展基于任务和环境的动态重构机器人柔性装配系统理论研究;系统基于自治体(Agent)的分布式控制技术及系统各单元体间的协作规划。
⑤装配力觉、视觉技术
包括高精度、高集成化六维腕力传感技术;视觉识别与定位技术。
⑥智能装配策略及其控制
包括装配状态实时检测和监控;装配顺序和路径智能规划及控制技术。
(5)多传感器信息融合与配置技术
①机器人的传感器配置和融合技术在水泥生产过程控制和污水处理自动控制系统中的应用
包括面向工艺过程的多传感器融合和配置技术;采用智能传感器的现场总线技术;面向工艺要求的新型传感器研制。
②机电一体化智能传感器
包括具有感知、自主运动、自清污(自调整、自适应)的机电一体化传感器研究;面向工艺要求的运动机构设计、实现检测和清污的自主运动;调节控制系统;机器人机构和控制技术在传感器设计中的应用。(待续)

 

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