各型号蔡司扫描电镜关机流程

 　　▪蔡司钨灯丝电镜EVO关机流程

　　✓ 提前关闭电镜附件及附件电脑，关闭氮气瓶主阀门

　　✓ 在SmartSEM中点击Shutdown Gun关闭灯丝

　　✓ 关闭SmartSEM软件，关闭EM Server，关电脑

　　✓ 电镜按Standby键，等待一分钟，电镜按Off键

　　✓ 关闭电镜主机后面下方的空气开关(红灯熄灭)

　　▪蔡司场发射扫描电镜

　　✓ 提前关闭电镜附件及附件电脑，关闭氮气瓶主阀门

　　✓ 在SmartSEM中点击Shutdown Gun并点击Yes关闭灯丝(如没有该选项，需切换到service账户完成)

　　✓ 关闭SmartSEM软件，关闭EM Server，关电脑

　　✓ 电镜按Standby键(黄灯)，等待一分钟，电镜按Off键(红灯)

　　✓ 将电镜主机后方的总开关旋钮旋到OFF(红灯熄灭)

　　✓ 水箱显示屏点开关键，选择Yes关闭水箱

　　✓ 关闭空压机电源

　　▪ 蔡司双束电镜(FIB-SEM)

　　✓ 提前关闭电镜附件及附件电脑，关闭氮气瓶主阀门

　　✓ 在SmartSEM中点击Shutdown Gun并点击Yes关闭灯丝(如没有该选项，需切换到service账户完成)

　　✓ 在SmartSEM的FIB界面点击Off关闭离子源

　　✓ 关闭SmartSEM软件，关闭EM Server，关电脑

　　✓ 电镜按Standby键(黄灯)，等待一分钟，电镜按Off键(红灯)

　　✓ 将电镜主机后方的总开关旋钮旋到OFF(红灯熄灭)

　　✓ 水箱显示屏点开关键，选择Yes关闭水箱

　　✓ 关闭空压机电源